研发工艺实验室,下设清洗实验室、教学实验室、科研实验室,配备等离子清洗机、等离子刻蚀机。清洗实验室负责样品等离子清洗、表面活化工艺打样与参数调试;教学实验室开展设备实操培训与工艺演示;科研实验室专注等离子刻蚀、微纳改性新工艺研发,持续迭代设备与工艺方案。